方案概述
用于電子元器件/密封件檢漏，方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成
方案優(yōu)勢
性能優(yōu)越
最小可檢漏率低，靈敏度高，檢測量程達到12級
自動清氦
獨特的氣路設計，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時間，有效防止氦污染
智能化生產
智能故障提示及報警功能
方案構成
用于電子元器件/密封件檢漏，方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成
行業(yè)應用
華為
中國電子科技集團第三十八研究所
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